真空系統配件

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UHV RDC 機械臂
UHV RDC機械臂(見圖1)是費勉儀器為超高真空復雜系統的樣品傳遞專門設計研發的。實現了相互嵌套的三級機械傳遞臂的依次伸出,實現了機構末端長距離的伸縮運動。結構簡潔有效,設計上注重不同超高真空實驗系統的兼容性,從而簡約了成本,簡化了操作,增大了應用的范圍。

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Cubic Chamber
1.     由一體成形不銹鋼SS316材料制成,沒有焊接部分,極大的降低了放氣率和泄露風險;

2.     8個CF40法蘭口,6個CF100法蘭口;

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LED真空照明系統
1.       專門針對真空系統定制的照明系統;

2.       每個控制器可連接12路高亮度LED燈;

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