復雜系統集成

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XPS/UPS System

高度定制化的UPS/XPS系統

    費密儀器科技在UPS/XPS 系統上具有多年的系統設計及集成經驗,參與了國內多個重點設備項目的搭建。

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超高真空圓形傳樣系統
超高真空圓形傳樣系統(UHV RDC System)是費勉儀器為超高真空復雜系統的樣品傳遞專門設計研發的,可連接多個超高真空腔體(例如:快速進樣室,樣品生長腔,襯底制備腔,電子結構分析腔等),傳樣過程中保證超高真空量級的真空增量(1E-10mbar)。

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超高真空直線傳樣系統
 隨著科學技術的發展, 樣品制備手段和樣品分析手段也原來越多, 將具有活性的樣品無損的從制備設備傳遞到表征設備,或者從一個表征設備傳遞到另一個表征設備,成為了得到材料本征信息的關鍵。 

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