蒸發源

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高溫蒸發源

EC2HT型號的高溫蒸發源最高加熱溫度可達2000℃,內部獨特的加熱絲設計保證了坩堝受熱極其均勻, 并使得蒸發源本身具有更突出的使用穩定性和壽命;

多層線接觸式鉭筒隔熱設計,大大降低了熱輻射的比例,增加了熱量的利用率,是獲得2000℃高溫的關鍵保證;

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HEAT PRO-2
HEAT PRO-2 是費密儀器自主研發的高精度蒸發源溫度控制器。

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氧化物蒸發源
   本蒸發源采用了成熟的設計,多層的隔熱層技術,可以滿足大部分真空蒸發的需求,標準的設計為10cc的氧化鋁坩堝,可以根據實際蒸發的材料作調整。

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