真空系統配件

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Cubic Chamber
1.     由一體成形不銹鋼SS316材料制成,沒有焊接部分,極大的降低了放氣率和泄露風險;

2.     8個CF40法蘭口,6個CF100法蘭口;

產品特點

1.     由一體成形不銹鋼SS316材料制成,沒有焊接部分,極大的降低了放氣率和泄露風險;

2.     8個CF40法蘭口,6個CF100法蘭口;

3.     可以擴展連接RHEED設備;

4.     最多可安裝7路蒸發源;

5.     腔體在150度完全烘烤后,極限真空好于3x10-10 mbar;

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