蒸發源

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高溫蒸發源

EC2HT型號的高溫蒸發源最高加熱溫度可達2000℃,內部獨特的加熱絲設計保證了坩堝受熱極其均勻, 并使得蒸發源本身具有更突出的使用穩定性和壽命;

多層線接觸式鉭筒隔熱設計,大大降低了熱輻射的比例,增加了熱量的利用率,是獲得2000℃高溫的關鍵保證;

產品特點

  • EC2HT型號的高溫蒸發源最高加熱溫度可達2000℃,內部獨特的加熱絲設計保證了坩堝受熱極其均勻, 并使得蒸發源本身具有更突出的使用穩定性和壽命;
  • 多層線接觸式鉭筒隔熱設計,大大降低了熱輻射的比例,增加了熱量的利用率,是獲得2000℃高溫的關鍵保證;
  • 底部水冷設置,可有效阻隔加熱區域的熱量向法蘭端的傳遞,降低非加熱區域的放氣;
  • 熱偶固定方式的改進使其能精確測得坩堝所在位置溫度,結合本公司的PID控溫器選件,能將溫度精度提高至±0.1℃.

技術參數

  • 擋板裝置:無;
  • 加熱絲類型:Ta;
  • 熱偶類型:Re/W合金 (C型熱偶);
  • 工作溫度:300-2000℃;
  • 溫度穩定性:±0.1℃ (配合HEAT PRO-2 PID溫控器使用);
  • 最高放氣溫度:2000℃;
  • 烘烤溫度:150℃;
  • 坩堝體積:~10cc;
  • 坩堝材質:Ta,W,PBN,Al2O3,BeO 等可選;
  • 法蘭規格:DN40CF;
  • 冷卻裝置: Feedthrough端自帶內置水冷,加熱區位置需搭配外置水冷裝置.
相關實物圖及測試曲線圖如下:
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(圖 1) 
高溫蒸發源
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(圖 2 )
功率vs溫度曲線圖

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(圖 3)
Ti束流測試 (Ti熔點1660℃;1453℃飽和蒸汽壓為1E-4mbar)
測試使用W坩堝;坩堝口距離晶振大約300mm;1850℃時可獲得1?/s的穩定束流。
 
    

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